第43卷第6期红外与激光工程2014年6月Vol.43No.6InfraredandLaserEngineeringJun.2014TEC的高精度半导体激光器温控设计李江澜,石云波,赵鹏飞,高文宏,陈海洋,杜彬彬(中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051摘要:热电制冷器(TEC作为半导体激光器(LD的制冷方案,具有体积小、易于控制等优点。但基于TEC的制冷方案中TEC的制冷功率和目标散热功率之间需要有良好地匹配关系,否则将会导致制冷不足或者导致功耗过大。根据LD组件热负载匹配TEC制冷功率,并通过比例-积分-微分(PID控制方法实现温控参数的优化设计,实现了基于TEC的LD温度控制系统。经实验验证:该系统能够对LD的工作温度实现控制范围为5℃~41℃、稳态误差小、控制精度为±0.05℃的高精度、高稳定性控制,并在高精度的波长测试中得到了很好的应用。关键词:温度控制;热电制冷器;半导体激光器;比例积分微分;中心波长中图分类号:TP273文献标志码:A文章编号:1007-2276(201406-1745-05HighprecisionthermostatsystemwithTECforlaserdiodeLiJianglan,ShiYunbo,ZhaoPengfei,GaoWenhong,ChenHaiyang,DuBinbin(KeyLaboratoryofInstrumentationScience&DynamicMeasurement,MinistryofEducation,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051,ChinaAbstract:Thermoelectriccooler(TEChadanextensiveprospectfortheapplicationofrefrigerationsystemforlaserdiode(LDforitsadvantagesuchassmallinsize,easytocontrolandsoon.ButitwasnecessarytoensurethematchbetweenthecoolingpowerofTECandthethermalpowerofthetarget;otherwiseitwouldleadinadequatecoolingorexcessivepowerdissipation.Inthispaper,ahighprecisionthermostatsystemwithTECforlaserdiodewasdesigned.Inthissystem,thecoolingpowerofTECwasdeterminedbythethermalloadofLD,proportional-integral-derivative(PIDcontrolmethodwasusedtooptimizetheparametersofthethermostatsystem.Anexperimentwasexecutedtoverifythedesign.TheexperimentalresultsshowedthattheworktemperatureofLDcouldbecontrolledbetween5℃and41℃withacontrolaccuracyof±0.05℃andthesteadystateerrorwassmall.Thesystemcouldbeagoodsolutionforthehigh-precisionwavelengthtesting.Keywords:temperaturecontrol;TEC;LD;PID;centerwavelength收稿日期:2013-10-10;修订日期:2013-11-25基金项目:国家自然科学基金(61078036作者简介:李江澜(1987-,男,硕士生,主要从事半导体激光器驱动电源、半导体激光器温控系统的研究。Email:ljl214214@126.com导师简介:陈旭远(1962-,男,博士,教授,博士生导师,主要从事微电子机械传感器件及系统的研发、半导体材料与器件的表征与技术等方面的研究。Email:chenxy@online.no红外与激光工程第43卷0引言半导体激光器(LaserDiode,LD作为高效的电子光子转换器件,不可避免地存在各种非辐射复合损耗、自由载流子吸收等损耗机制,这就意味着相当部分的注入电功率将转化为热量,引起LD温度的升高。升温会导致LD的输出功率下降、阈值电流增大、波长漂移(0.2~0.3nm/℃。为了保证LD工作的稳定性,精准控温是十分必要的,并且在高精度的波长测试中,温度应控制在0.05℃以内。传统的水冷方式一般应用于半导体激光器温控,设计制作难度大,结构复杂,而且其控制精度不高,难以实现小型化。热电制冷器(Thermo-ElectricCooler,TEC作为一种新型的制冷方案,具有体积小、易于控制等特点,在LD控温领域展现优良的应用前景。但是由于TEC基于珀耳帖效应(Peltiereffect的散热原理,其制冷功率和目标散热功率之间需要有良好地匹配关系,否则达不到制冷效果或者耗能成倍增加。另外,传统的TEC温控设计中温控精度不高。文中研究了与LD组件热负载相匹配的TEC选型方法,加之优化的PID程序设计,完成了高精度LD温控系统设计,提高了TEC的制冷效率。1TEC温控分析1.1TEC工作原理TEC按照珀耳帖效应的原理工作:当电流流过热电致冷器时,热量便会由热电致冷器的一侧传送到另一侧,表现为其一端制冷另一端加热;如果电流的方向反转则制冷与加热的两端也会反转,即原来加热的一端变为制冷,原来制冷的一端变为加热。图1为一种典型的TEC温控系统。图1典型的TEC温控系统Fig.1Typicalthermoelectriccontrolsystem1.2TEC选型方法LD组件热负载(PC决定着所使用到的TEC的制冷功率。PC等于LD本身产生的热功率Pactive和其他热组件影响到制冷面的热功率Ppassive之和:PC=Pactive+Ppassive(1其中Pactive=U×I×(1-η(2式中:U、I、η分别为LD的驱动电压、驱动电流以及电光转换效率。Ppassive包括辐射热功率Prad、对流热功率Pconv和传导热Pcond。一般情况下,通过测温传感器(体积很小连接和制冷块安装进行的传导热功率忽略不计。Ppassive=Prad+Pconv+Pcond(3Prad=FεσA(T4H-T4C(4式中:F为形状系数,这里由于TEC厚度较小,F值近似为1;ε为辐射系数,这里其值近似为1;σ为斯特藩玻耳兹曼常数(Stefan-Boltzmanconstant,5.667×10-8W/m2K4;A为被冷却物的底面积,这里即为传导铝块的底面积;TH为TEC热面所能达到的温度最大值,其由系统所使用到的最大环境温度值(TA和系统所配有的散热器的散热能力和效率所决定。在足够的散热和TEC热冷面温差较小条件下:TH=TA+5(5而在散热条件差或者TEC热冷面温差较大的情况下:TH=TA+15(6TC为制冷面所能达到的温度最低值,由环境温差与TEC制冷面位置决定。在热负载较小的情况下TC可以近似的认为等于系统最小的制冷温度。在热负载较大或者被冷却物与TEC制冷面较远时,TC等于系统最小的制冷温度减去5℃。Pconv=hA(TH-TC(7式中:h为对流换热系数,当散热片采用自然对流换热时,散热片与周围空气之间的对流换热系数为3.5~6.0W/m2,当采用强迫对流散热时,换热系数大约可以提高10倍,达到35~60W/m2。这里采用强迫风冷散热。由以上公式可得PC,见公式(8,这里所求到的PC值为TEC制冷面在使用环境相对较差情况下转移的热功率,实际中的PC值要小一些。PC=U×I×(1-η+FεσA(T4H-T4C+hA(TH-TC(8得到PC值以后,就可以通过TEC厂商提供的1746第6期TEC的参数资料中查找到最适合的TEC。特别注意,所选的TEC最大制冷量Qcmax要大于Qmax,Qmax的表达式如下:Qmax=PC×ΔTmax/(ΔTmax-ΔT(9式中:ΔTmax为TEC器件能达到的最大热冷温差,ΔT为控温设计最大温差。为了保证TEC的工作寿命,其正常工作电压不应大于极限电压的78%。需要注意的是TEC需要使用导热硅胶紧密黏粘在传热铝块与热沉之间,这样就使TEC能够与它们充分接触,利于传热。2系统设计2.1TEC选型文中采用的LD为三菱公司生产,型号为ML501P73,其额定电压电流分别为2.2V、0.65A,电光转换效率30%。设TA为25℃,TC为5℃,铝块底面积为31.4cm2,对流换热系数45。经过计算得,TH=40℃,Pactive≈1W,Ppassive≈5.7W,PC=6.7W。文中采用TEC型号为TEC1-07104,最大温差69℃,极限作电压电流分别为8.6V和4.5A,其最大制冷功率为20W。计算Qmax=16.37W,满足Qcmax要大于Qmax的要求。根据此TEC热面温度分别为27℃与50℃时不同电流下温差与制冷量以及温差与电压之间的对应关系曲线所制成的制冷量为6.7W情况下,各重要参数关系见表1。表1制冷量为6.7W情况下,各重要参数关系Tab.1Relationsamongsomeimportantparametersundercoolingcapacityis6.7W从表中可以对比得出,TEC热面最大温度在45℃时,温差为40℃的情况下,达到所需要的制冷量驱动电压与电流分别约为:4.8V,2.6A。这里选择5V的驱动电压即可实现所需要求,并且5V小于极限电压的78%。2.2系统结构图与说明系统基本结构图如图2所示。图2系统基本结构图Fig.2BasicconfigurationofsystemAD芯片选用12位开关电容逐次逼近A/D转换器TLC2543。控制电路由大电流驱动芯片ULN2003与H桥组成,通过单片机处理比例积分微分(PID程序生成相应的PWM信号驱动其工作,控制TEC降温或加热。温度传感器对温度控制的精准度起着重要作用,其选择至少应该参考4个因素:线性度、温度范围、灵敏度以及外形尺寸。表2为几种LD温控系统常见的温度传感器各因素评估表。通过评估表以及本设计的要求,选择10K的负温度系数,型号为PR103J2的热敏电阻作为温度传感器,其精度可以达到±0.05℃。表2常见温度传感器各因素评估表Tab.2Commontemperaturesensortypeswithrelativeratings2.3软件设计在TEC选择合适的情况下,优化的PID控制程序能够有效的提高系统控温精度,该设计中采用位置式PID控制算法。其数学模型如下:u(n=Kpe(n+Kink=0Σe(k+Kd(e(n-e(n-1(10式中:u(n为输出控制量;Kp为比例放大系数;Ki为积分放大系数;Kd为微分放大系数;e(n、e(n-1分别为此刻、前一时刻的差值信号。对于加热或降温的TH/℃TH-TC/℃I/AU/V27352.54.5402.85.1453.36.2503524.15402.34.65452.65.2SensortypeLinearityRange/℃SensitivitySizeThermistorPoor-80to150BestBestRTDGood-80to150PoorGoodLM335Best-80to150GoodPoorAD592Best-80to150GoodPoor李江澜等:TEC的高精度半导体激光器温控设计1747红外与激光工程第43卷5℃15℃25℃30℃40℃Vs/mV4405.84105.53724.63508.73043.3Vt/mV4405.64104.83724.73509.13043.5控制可以采用调节电压的方法或者调节供电时间比例的方法。这里选择调节时间比例的方法,图3为PID控制流程图。图3PID控制流程图Fig.3FlowchartofPIDcontrol3实验结果与应用3.1稳定误差测试根据热敏电阻温度与电阻关系表,从采样电路中得到各温度对应的理想电压值Vs,待经过精密恒温槽温度稳定后测量代表实际温度的电压值Vt,测量结果如表3所示。表3稳态误差测试数据Tab.3Testdataofsteady-stateerror从表3可知,在5℃~40℃的范围内,温度误差很小。误差最大点15℃处为0.7mV,折合温度误差为0.0206℃