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2009年7月
光子学报
LD脉冲侧面泵浦NdBYAG电光调Q
低重频窄脉宽紫外激光器
白杨,刘沛沛,沈兆国,任兆玉,白晋涛
(西北大学光子学与光子技术研究所,陕西省全固态激光及应用工程技术研究中
心,西安710069
摘要:介绍了在1~20Hz电光调Q情况下,半导体脉冲激光侧面泵浦NdB
,在腔外分
别利用KTP和BBO晶体产生532nm倍频绿光、
流为120A、重复率为1Hz时,、脉宽
8ns,;重复率20Hz时,
266nm紫外激光输出,%.同时利用一组分光镜,获得了
:半导体
激光脉冲侧面泵浦;四倍频;窄脉宽;高峰值功率;紫外激光器
中图分类号::A文章编号:100424213(2009072161724
0引言
紫外激光由于波长短、聚焦性能好、光点面积小、光子能量高、衍射效应小、
分辨率高等优点,在精密材料加工、紫外固化、超高密度光驱、光刻、光印刷、医
疗、
相比,半导体激光(LaserDiode,LD泵浦的固体紫外激光器具有转换效率高、结构紧
凑、寿命长、维护方便、光束质量好等优点,已经成为国内外研究的热点.
目前,国内外对266nm紫外激光器的研究大多集中在连续或高重复率准连续紫
,峰值功率仅为千瓦至
几十千瓦,而对半导体激光脉冲泵浦的窄脉宽(小于10ns、峰值功率达到兆瓦量级
率电光调Q全固态紫外脉冲激光器,用平采2平直腔结构、腔外二倍频和四倍频方
案,在重复率为1~20Hz范围内,获得了脉宽小于10ns,峰值功率达到兆瓦量级的
266nm紫外脉冲激光输出.
功率标称为1200W,
质NdBYAG棒尺寸为5
******@61mm,%.为得到窄脉冲,选用了KD*P晶体电光
自于同一个脉冲发生器,相互严格同步,重复率可调范围为1~20Hz.
图1实验装置
平面镜M1作为腔的端镜,在靠近电光晶体一侧镀有对1064nm的全反膜;平面
镜M2为1064nm输出镜,通过实验,最佳透过率为T=67%;为了使Q开关能够有
效地关断,从而获得窄脉宽,将电光晶体紧靠M1镜放置,激光晶体和电光晶体之间
、二倍频晶体
及四倍频晶体实施水冷却,保证了模块在工作温度范围内稳定运行,降低棒的热透镜
效应,有利于提高二倍频、四倍频效率及266nm紫外激光输出稳定性,温度控
制准确度为?.